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切記不可大意!安全使用原子沉積系統(tǒng)

更新時間:2021-06-24      點擊次數(shù):1268
  原子沉積系統(tǒng)是一款緊湊型獨立的PC計算機控制的ALD原子層沉積系統(tǒng),帶Labview軟件,具備四級密碼控制的用戶授權(quán)保護(hù)功能。系統(tǒng)為全自動的安全互鎖設(shè)計,并提供了強大的靈活性,
 
  原子沉積系統(tǒng)的操作步驟:
 
  1、開機:開普氮(壓力0.4-0.6MPa)、高純氮氣瓶(壓力小于0.1MPa);開總電源;開水冷機。
 
  2、放樣品:點擊“進(jìn)氣”,待壓強升至1個大氣壓后,打開腔體,放入樣品。點擊“設(shè)置”,將流量重新設(shè)置為:20。
 
  3、開機械泵:先打開機械泵電源開關(guān),然后點擊“泵閥開”。4、設(shè)置溫度參數(shù):點擊“設(shè)置”,開始設(shè)置溫度參數(shù),例如1:200度;2:230度;11(水):50度,或者11(臭氧):0度;10(Al源):0度。循環(huán)次數(shù)根據(jù)需要設(shè)置。流量:20。點擊“確定”,開始加熱,加熱時間不少于45min。
 
  5、排水:加熱45min后,若之前用過水,而本次實驗用臭氧,則需排水。點擊“模式1”,將前驅(qū)體4的脈沖時間設(shè)為:1000ms,清洗時間設(shè)為:5s,關(guān)閉小窗,點擊“開始”,n個循環(huán)后,點擊“結(jié)束”,排水完成。
 
  6、設(shè)置沉積模式參數(shù):點擊“模式1”或者“模式2”,設(shè)置前驅(qū)體和水(或者臭氧)的脈沖時間和清洗時間。以沉積氧化鋁為例,前驅(qū)體3為鋁源,前驅(qū)體4為水(或者臭氧),其他為空置,設(shè)置前驅(qū)體3的脈沖時間為:60ms,清洗時間設(shè)為:10s;設(shè)置前驅(qū)體4的脈沖時間為:50ms,清洗時間設(shè)為:30s。
 
  7、設(shè)置載氣流量和循環(huán)次數(shù):點擊“設(shè)置”,流量設(shè)置為:20;循環(huán)次數(shù)根據(jù)所需樣品厚度而定。
 
  8、開始實驗:打開相應(yīng)前驅(qū)體的手動閥,如果使用臭氧作為反應(yīng)源,氣壓,開腔體,取出樣品。
 
  10、抽真空:點擊“泵閥開”,氣壓下降后,點擊“進(jìn)氣”,關(guān)閉高純氮的減壓閥,流量下降至1位數(shù)時,點“設(shè)置”,將將流量重新設(shè)置為:0。
 
  (若下次實驗換另外的源,則需排空,具體操作:點擊“泵閥開”,氣壓下降后,點擊“進(jìn)氣”,點擊“模式1”,將前驅(qū)體3的脈沖時間設(shè)為:500ms,清洗時間設(shè)為:5s,將前驅(qū)體4的脈沖時間設(shè)為:1000ms,清洗時間設(shè)為:10s,關(guān)閉小窗,點擊“開始”,100個循環(huán)后,點擊“結(jié)束”,排空完成。)
 
  11、關(guān)儀器:點擊“設(shè)置”,將1、2和11(水)的溫度設(shè)為:0,將所用源的溫度設(shè)為:0。點擊“泵閥關(guān)”,關(guān)機械泵,關(guān)總電源,關(guān)普氮、關(guān)水冷。
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